氦气压缩机的应用

发布时间:2024-07-26 17:11:01 来源: 优捷点击量: 362

1.主要应用于半导体，充当前道制程设备的蒸发、溅射和离子注入真空系统的保护气。在半导体加工过程中发生的化学反应通常是基于气体或液体的，因此在硅周围使用惰性气体可以防止发生不必要的反应。而氦气不会与其他物质发生反应，化学性质极不活泼，因为它的这一“惰性”性质，让它成为半导体制造的理想气体。
2.氦气压缩机用于航空航天领域。氦气在航天飞行中被用作气球、气垫、气动控制、火箭推进剂等。特别是在宇航员太空出行时，氦气是保护宇航员的必备气体，可以防止高辐射和空间寒冷。
3.氦气压缩机也用于物理研究所，氦被用于粒子加速器和核物理实验，以用于高能物理研究。
4.氦气压缩机可以做为低温制冷机的重要组成部分，主要有氦压缩泵、油气分离器、吸附器、冷却系统、电控系统及仪表系统组成。在现代工业中，低温制冷应用于电子工业、半导体工业、光学工业、食品速冻、医学设备等领域。
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